29a-K-4 Pt/PZT/Pt強誘電体キャパシタの水素劣化メカニズムII

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概要

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• 1999-03-28

著者

• 金谷 宏行

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 岩元 剛

  生産技術研究所

• 高萩 由紀夫

  環境技術研究所

• 玖村 芳典

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 有隅 修

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 山川 晃司

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 國島 巌

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

• 田中 真一

  東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所

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