Si基板上へのFe薄膜のスパッタエピタキシャル成長技術
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概要
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- 1996-02-01
著者
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佐藤 和幸
(株)ジャパンエナジー 材料部品研究所
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栗原 敏也
(株)ジャパンエナジー 材料部品研究所
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八重樫 誠司
(株)ジャパンエナジー,材料部品研究所
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佐藤 和幸
(株)ジャパンエナジー総合研究所
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八重樫 誠司
(株)ジャパンエナジー 材料部品研究所
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