Cu-SCFD(Supercritical Fluid Deposition)におけるULSI用微細形状への製膜特性
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概要
公益社団法人 化学工学会 | 論文
- 減圧下におけるCa(OH)2の熱分解脱水反応の促進
- PSA型反応器による水素吸蔵合金を用いたシクロヘキサンの脱水素
- ディスク型CVD装置内での平均物質移動係数
- 垂直多葉式熱CVD装置内の物質移動現象 (CVD) -- (シミュレ-ション・移動現象)
- 各種低品位炭の回分式熱分解--生成物分布に与える原炭組成および熱分解温度の影響