垂直多葉式熱CVD装置内の物質移動現象 (CVD<特集>) -- (シミュレ-ション・移動現象)
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概要
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Mass transfer in a vertical multicomponent CVD reactor was investigated by using the combustion of carbon plate. The carbon plate was burned under the condition of mass transfer rate control. The average mass transfer coefficient and local burning rate were measured.<BR>Mass transfer was analyzed by a model with a series of a complete mixing model in the annular region and a two-dimensional diffusion model in the space between ths wafers. Calculated values of the local burning rate and the concentration of O<SUB>2</SUB> in the reactor were in fair agreement with the experimental ones.
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