ジメチルエーテルを用いた単層カーボンナノチューブ膜のCVD合成
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概要
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単層カーボンナノチューブ(SWNT)膜をCVD合成するための炭素源として，エタノールは純度の高いSWNT膜を簡易に合成できることから広く用いられている．本研究では，エタノールと同じ組成式を持つジメチルエーテルを炭素源としてCVD法によりSWNT膜を合成した．ジメチルエーテルが有効な炭素源であることが分かり，エタノールとジメチルエーテルの熱分解特性の違いに起因し，SWNT膜合成に適した温度，圧力，流量等の反応条件が異なることが分かった．
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社団法人 日本伝熱学会 | 論文
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