MEMSを用いた複合熱分析法の研究:熱・質量同時分析
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概要
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本研究ではMEMS技術を利用し，ナノグラムレベルの微小試料の熱分析，質量分析，顕微観察が可能な複合熱分析法の開発を目的とする．研究内容は，まず熱電対，走査ヒータ，サーモパイル，補償ヒータを備えた長さ500ミクロンレベルのカンチレバー型チップカロリメータを製作し，熱分析・質量計測システムに対する空気の影響評価を行った．更に，マイクログラムレベルの硫酸銅水和物の脱水過程を質量計測と熱分析を同時に行うことで計測した．その結果，水分子の脱水が観察でき，実験結果の脱水割合と理論的な脱水割合が定量的に一致した．
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社団法人 日本伝熱学会 | 論文
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