マイクロ気固界面による気体選択的透過制御デバイスの開発:PDMS表面加工性状による透過性変化の評価
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概要
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加工面性状の異なるPDMS薄膜を介した気相・液相間での気体透過性変化を明らかにするために,表面加工粗さと透過性変化の定量的評価を行った.PDMSを液体窒素中で硬化させて切削加工する極低温マイクロマシニングにより,異なる表面粗さを持つPDMS薄膜を製作した.さらに,マイクロスケール速度およびpH分布同時計測手法によるCO2透過過程における液相速度とCO2濃度分布の同時計測を行い,壁面粗さによる気体透過性の変化を物質移動方程式に基づく拡散および対流流束から評価を行った.
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