パターン電極を導入したCPW型液晶ミリ波位相変調器の特性
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概要
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CPW基板を用いる事により適当な大きさのガラス基板をマウントするだけでサンドイッチ型セル構造が形成できるため、容易に高周波回路中に液晶デバイスを集積化する事ができる。このような手法で液晶ミリ波位相変調器の実現を目指してきたが、液晶駆動用に導入した上部電極が大きな損失を生む事も明らかになってきた。そこで、上部電極の両端の形状をアレンジして適当な共振特性を導入する事により、損失を増やさずに位相変調特性を改善する事を試みた。
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