FCBGAのLSIチップに生じる応力とリフロー条件の相関
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概要
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LSIの高性能化に伴ない、Cu配線における層間絶縁材料はより誘電率の低い材料(low-k材料)が使用されるようになってきている。一般にlow-k材料は機械的強度や密着性が従来より低下するといわれており、パッケージ組み立て時の機械的ストレスによりLSIの配線構造が破壊されることが懸念される。今回鉛フリーバンプの弾塑性・クリープ特性を考慮したビルドアップFCBGAのボンディング時の有限要素法解析を実施し、LSIチップに生じる応力とFCリフロープロファイルの関係について報告する。
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