酸素プラズマ処理した基板へのインクジェット法による抵抗膜の作製
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概要
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インクジェット法は、狙った場所に狙った量だけ材料を塗布でき、材料の廃棄物や工程数が少ないことから低環境負荷、低コストのプロセスとして注目されている。産業用としての応用が進められ、実装関係では配線描画を中心に検討がなされている。今回、抵抗体としての動作が期待できるRuO2粒子を含む、インクジェット用抵抗体インクを作製した。このインクをアルミナ基板上に印刷したところインクを弾き、パターン形成できなかった。そこで基板表面にエチルセルロース層を形成後、酸素プラズマ処理を行った。その結果、数百μm幅のライン、数mm程度の四角形などの膜パターン形成が可能となった。XPS及び接触角測定の結果から、処理により基板表層の親水性が増したためと考えられた。また、作製した抵抗膜について電気特性の確認を行った。
- 一般社団法人エレクトロニクス実装学会の論文
一般社団法人エレクトロニクス実装学会 | 論文
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