フレキシブルエレクトロニクスデバイスを実現する薄膜電極の新規転写技術
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概要
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本論文では，金属薄膜をPDMSポリマーに転写する技術として開発した"ドライ剥離工程"に関するものである．二つ異なる自己組織化単分子膜を用いて基板と金属の表面を改質することにより，フレキシブルポリマー基板(PDMS)への，簡単かつ信頼性の高い金属薄膜の転写技術を開発した．本転写技術は，常温で行われるため，ポリマーが熱分解されることを防止することもできる．このように製作するPDMSに内蔵された金属薄膜のマイクロパターンをマイクロコンタクトプリンティングのためのフラットスタンプとして使用し，従来マイクロコンタクトプリンティング方法の問題であったスタンプの変形を減らすことができる．また，居部ヒーティングのためのマイクロヒータとしての応用も紹介する．
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