Current Status and Future Prospect of Cu Interconnects for Very High Speed LSIs

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概要

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著者

• 一色 実

  東北大学 多元物質科学研究所

• 大貫 仁

  茨城大学 工学部マテリアル工学科

• 玉橋 邦裕

  茨城大学 工学部マテリアル工学科

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