総論:プロセシング・プラズマの基礎的性質と内部構造 (広がるプラズマの新しい応用--プラズマ・プロセス-1-)
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概要
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A variety of plasma processes are summarized from the point of view of discharge physics. Since low temperature plasmas are widely used, our attention is paid to glow discharge, especially high frequency glow discharge. The basic properties and internal structure are discussed.
- 社団法人 プラズマ・核融合学会の論文
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