イオンビーム源としてのECR

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 社団法人 表面技術協会の論文

著者

• 高木 憲一

  日本真空技術

関連論文

• 28p-G-11 広い引出し面積を持つマイクロ波イオン源の特性(III)
• ECR・IBS法によるパーマロイ薄膜の作製
• イオンビーム源としてのECR
• アブストラクト
• 29p-TD-10 シートプラズマイオン源の物理的特性(29pTD プラズマ物理・核融合(分布測定,アンテナ,マイクロ波源,イオン源))
• 3a-A8-4 ホローカソード型金属イオン源II(3a A8 プラズマ物理・核融合(プラズマ発生・加熱))
• 31p-A6-10 LaB_6陰極を用いたホローカソードの特性について(31p A6 放電)

スポンサーリンク