4元同時蒸着用電子ビーム蒸発源 (テトラガン) の開発

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本真空協会の論文

著者

• 大迫 信治

  日電アネルバ(株)

• 大迫 信治

  アネルバ株式会社

• 小林 正彦

  日電アネルバ (株)

• 山本 久

  日電アネルバ (株)

• 大迫 信治

  日電アネルバ (株)

関連論文

• スピニングロータ真空計の持ち回り実験
• 脱ガス処理を施した清浄化ステンレス鋼製真空容器の排気特性
• フラッシュ脱離(FD)法の極高真空計測への応用
• 真空計の種類と特徴 (特集 真空技術の最新動向)
• サマリー・アブストラクト
• EIES蒸発速度モニターを用いたMBE成長
• G-M冷凍機を用いたクライオポンプによるXHV実現の可能性
• 4元同時蒸着用電子ビーム蒸発源 (テトラガン) の開発
• アブストラクト
• スピニングローター真空計による電離真空計の感度校正
• チタンサブリメーションポンプ

もっと見る 閉じる

スポンサーリンク