小林 正彦 | 日電アネルバ (株)

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著作論文

• EIES蒸発速度モニターを用いたMBE成長
• 4元同時蒸着用電子ビーム蒸発源 (テトラガン) の開発
• スピニングローター真空計による電離真空計の感度校正

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