流動層処理したSi基板上へのダイヤモンド気相合成
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
ダイヤモンド粒子の流動層内でSi基板表面の処理を行い, 粒子析出密度に対する流動層処理条件の影響を検討した.ダイヤモンド合成は, マイクロ波プラズマ法によって行った.<BR>2種のダイヤモンド粒子 (290-370μm, 88-115μm) を用いて, 流動化ガス流速および処理時間を大幅に変えてSi基板表面処理を行った。粒子析出密度は, 流動層処理時の流動化ガス速度, 流動化粒子径, 処理時間に強く依存した.すなわち, 本実験条件範囲内では, 流動化ガス流速が大きいほど, また, 処理時間が長いほど粒子析出密度は増大した.88-115μmのダイヤモンド粒子を流動化粒子として用いた場合, ガス流速37cm/s, 処理時間10hの前処理により, 7×10<SUP>7</SUP> l/mm<SUP>2</SUP> の高い粒子析出密度を得た.
著者
関連論文
- 資源・エネルギー
- 直接メタノール燃料電池におけるガス・液供給条件と動作特性の関係
- 62.高温下における石炭チャー中鉄化合物の反応挙動
- ICCS'97に参加して
- ハンドピッキングを用いたコークスおよびセミコークスの局所構造解析(炭素構造からみたコークス化機構解析,劣質な石炭のコークス化機構解析とコークス強度評価)
- 低温酸化炭の化学構造変化と粘結性低下機構
- ガス化によるカーボンナノチューブの精製
- 無機塩による微粒子生石灰の改質を利用した粉粒流動層での高効率乾式脱硫
- DMFCの動作特性に及ぼす燃料供給形態の影響
- 粉粒流動層における硫酸カリウムを添加した銅ベースの新型脱硫剤の脱硫脱硝性能
- 粉粒流動層を用いた同時脱硫脱硝における脱硫剤の選択
- 酸化鉄ダストを用いた粉粒流動層における同時脱硫脱硝
- 都市ガスを利用する家庭用燃料電池システムの最適定格出力 : 実測エネルギーデータに基づく最適定格出力計算
- 21世紀の化学工学
- 21 世紀のエネルギーと石炭の高効率利用(環境にやさしいエネルギー)
- 石炭熱分解時のガス発生挙動に対する昇温速度及び炭種の影響(コークスプロセス工学の展開)
- 静電微粒化法を用いた新しい環境浄化技術の開発
- 2C1000 静電微粒化を用いた新規環境浄化法の開発
- 59.加圧条件下におけるCa-担持炭の脱硫効果
- 60.Caイオン交換担持褐炭による低温脱硫
- 溶融シリカの製造
- 気相酸化法による高純度酸化チタンの特性制御
- 気相酸化法による高純度酸化チタンの製造
- 炎溶射装置における固体粒子の溶融球状化現象の解析
- 炎溶射法による球状粉末の製造装置における二重管式ノズルからの炎ガスの流速と温度分布の解析
- カーボン粒子層の電気導電率とそれを用いた空隙生成のキャラクタリゼーション
- 粉粒流動層の微粒子飛び出しに関する研究
- 粉粒流動層型高温脱硫装置の脱硫特性
- 粉粒流動層の微粒子ホールドアップと凝集に関する研究
- 粉粒流動層を用いた木質系チップの接触熱分解における軽質芳香族炭化水素収率に及ぼす触媒や流動化ガスの種類,運転操作条件などの影響
- 粉粒流動層による植物質バイオマスの接触熱分解
- 燃料電池のエネルギー収支・エクセルギー損失の基礎
- 固体酸化物燃料電池その特徴と研究開発の動向
- アセトン-水素-2-プロパノ-ル系ケミカルヒ-トポンプの研究--アセトンの気相接触水素化反応速度式
- ブルータワーガス化プロセスにおけるヒートキャリア(アルミナ)に対するアルカリ金属の影響
- 粉粒流動層で微粒子石灰石をか焼して得られた酸化カルシウム粉体の細孔径とか焼率との関係
- 微粒子の脱硫剤を用いた粉粒流動層による排煙脱硫プロセスの開発
- 粉粒流動層における微粒子の挙動
- 粉粒流動層における微粒子平均滞留時間に関する研究 -微粒子粒度分布・静電気・湿度の影響-
- 噴流型粉粒流動層半乾式脱硫装置の脱硫率に及ぼす諸操作条件の影響
- ハンドピッキングを用いたコークス化過程におけるコークス局所構造の炭素構造解析
- 1-23.石炭中鉱物質による塩化鉛の高温捕捉(Session(1)石炭・重質油)
- 褐炭を利用した新規な微粒子合成法とその応用
- 72.Ca担持炭を脱硫剤とした加圧石炭流動層燃焼の脱硫効果
- 粉粒流動層による石炭の接触熱分解 : 硫黄分添加による触媒活性の制御
- 微粉炭燃焼初期段階でのNOx生成に及ほす炭種の影響
- 急速熱分解における石炭中窒素の挙動と石炭燃焼におけるNOx生成の関係
- 粉粒流動層を用いた新規な乾式同時排煙脱硫脱硝プロセス
- 粉粒流動層による半乾式高効率脱硫装置の開発
- 粉粒流動層内の微粒子滞留状況の検討
- 対称および非対称加熱垂直平行平板間自然対流熱伝達
- 黒船-炭化ケイ素-ケイ素鉄-ホウケイ酸ガラス-フッ化物5成分系からなる黒鉛るつぼ材の酸化消耗とぬれ性との関係 : 黒鉛るつぼの製造に関する研究, 第3報
- 音波攪拌流動層による微粒子の分級
- 17.熱処理時における石炭中イオン交換性とケイ素化合物の反応挙動
- 流動層処理したSi基板上へのダイヤモンド気相合成
- 粉・粒流動層における微粒子の滞留時間分布
- 湿式酸化によるカーボンナノチューブの精製
- 加熱垂直平行平板からの自然対流熱移動--垂直平板上下に通気抵抗板がある場合
- 垂直多様式CVD装置における流体モデル--簡略モデルの適用
- 粉粒流動層を用いた転炉微細ダストからの粉鉄の製造
- K担持炭を物理混合した石炭の流動層接触ガス化 (化石エネルギ-利用技術) -- (石炭ガス化)
- TEMによる定点観察法