超高真空用ステンレス中空Oリングのヒートサイクル試験 (常温〓500℃)

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 久呉 高博

  株式会社富士テルモ

• 久呉 高博

  株式会社富士テルモ技術部開発課

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