超高真空使用に関するメタル中空Oリング〈シュアケット〉のコーティング材について

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 村山 啓

  株式会社富士テルモ

• 木村 靖

  株式会社富士テルモ

• 久呉 高博

  株式会社富士テルモ

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