膜厚分布が制御可能なプレーナマグネトロン型スパッタ電極

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概要

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• 日本真空協会の論文

著者

• 阿部 勝男

  (株) 日立製作所生産技術研究所

• 小林 秀

  (株) 日立製作所生産技術研究所

• 亀井 常彰

  (株) 日立製作所生産技術研究所

• 阿部 勝男

  日立生研

• 亀井 常彰

  日立生研

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