3p-P-3 反応性スパッタ法による結晶性Fe_3O_4薄膜の作製

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1984-09-10

著者

• 佐野 誠

  日立小田原工場

• 高垣 篤補

  日立生研

• 阿部 勝男

  日立生研

• 中川 宣雄

  日立生研

• 亀井 常彰

  日立生研

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