CVD法によるS<SUB>i</SUB>O<SUB>2</SUB>微粒子の調製および熱力学的解析
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概要
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ケイ素粉体と水蒸気を, 硫化水素共存場で1000〜1600Kの条件で反応させることにより, S<SUB>i</SUB>O<SUB>2</SUB>の微粒子を作成した.顕微鏡法により得られた平均粒径は0.16μm程度で反応温度に依存しない.しかし, 遠心沈降法により得られた平均粒径は反応温度の上昇に伴い大きくなった.この理由は顕微鏡法では一次粒子径を測定しているのに対し, 遠心沈降法では強く凝集した粒子または部分的に溶融した粒子を単一粒子とみなしたために生じた.<BR>各成分の平衡組成を, 反応管長さ方向の温度分布を考慮し熱力学に基づき計算した.反応管内壁に沈着した粉体量を, フィルター部での捕集粉体量に加えた全粉体生成量は, 計算値と高温領域 (1300K以上) において良好に一致した。
- 社団法人 化学工学会の論文
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