反応性スパッタリング法による窒化物薄膜合成時における粒子種
スポンサーリンク
概要
著者
関連論文
- Te薄膜の酸化過程
- サマリー・アブストラクト
- サマリー・アブストラクト
- オリフィスプローブ法を用いたプラズマ診断における引き出し電極の役割
- 絶縁性薄膜合成中の表面電位測定
- 直流放電における基板前面の電荷分布
- 窒素放電中に基板に入射する電子のエネルギー分布
- 窒素放電中の粒子種
- 反応性スパッタリング法による窒化物薄膜合成時における粒子種
- 差圧型イオン銃(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- 差圧型イオン銃
- SIMS装置の二, 三の改良
- 錫の反応性スパッタリング過程
- 差圧型イオン銃(速報) (第25回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和59年10月29日〜31日)
- タイトル無し