MIGヘッド用高BsFeAlSiスパッタ―膜

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概要

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• Magnetic and mechanical properties of sputtered FeA1Si films were investigated. High saturation flux density (Bs) of 14-15kG was obtained for films of 4.5-6wt%Al-5-6.5wt%Si-balance of Fe with soft magnetic properties. From the results of annealing temperature dependence of soft magnetic properties and internal stress (σ) of films, an optimum annealing temperature for superior soft magnetic properties and low σ was 600°C. There was little decrease in permeability of Mn-Zn ferrite on which the film deposited.

• 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文

著者

• 岡本 直之

  住友特殊金属株式会社

• 岡本 直之

  住友特殊金属

• 三吉 康晴

  住友特殊金属

• 岡本 直之

  住友特殊金属(株)研究開発部

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