X線回折法による酸化物超伝導薄膜の評価
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概要
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We examined the structures of (110) preferred oriented YBa<SUB>2</SUB>Cu<SUB>3</SUB>O<SUB>y</SUB> thin films by X-ray diffractometry with a 4-axis goniometer. It is noted that some films, in which the RHEED method had detected only the (110) domain, had (103) domains. The results indicate that the films have different structures between their surface and inside. So to characterize the precise structure of the films, this X-ray diffraction method is very useful.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
著者
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榎本 陽一
NTT光エレ研
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榎本 陽一
Ntt電応研
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岩田 恒和
NTT光エレクトロニクス研究所
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山路 昭彦
NTT光エレクトロニクス研究所
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山路 昭彦
Ntt
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榎本 陽一
NTT光エレクトロニクス研究所
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