2極RFスパッタY-Ba-Cu-O高温超電導薄膜の組成制御

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概要

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• The composition of Y-Ba-Cu-O thin films deposited by RF diode sputtering was examined by EPMA (Electron Probe Micro Analysis). The composition of Y-Ba-Cu-O thin films with a target made by the solid state reaction method changed with sputtering time even if the films were deposited under identical conditions. In contrast, the composition of films with a target made by the co-precipitation method were unaffected by sputtering time when they were deposited under identical conditions. Good control of the composition of Y-Ba-Cu-O thin films was achieved by optimizing both the RF input power density and the partial pressure of oxygen.

• 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文

著者

• 長谷 隆司

  株式会社 神戸製鋼所 技術開発本部 電子技術研究所

• 長谷 隆司

  神戸製鋼

• 長谷 隆司

  神鋼

• 長谷 隆司

  (株)神戸製鋼所技術開発本部

• 川手 剛雄

  (株)神戸製鋼所技術開発本部

• 梶川 弘

  (株)神戸製鋼所電子技術研究所

• 川手 剛雄

  (株)神戸製鋼所

• 西村 耕造

  (株)神戸製鋼所

• 奥田 正彦

  (株)神戸製鋼所

• 長谷 隆司

  (株)神戸製鋼所

• 梶川 弘

  (株)神戸製鋼所

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