2極RFスパッタY-Ba-Cu-O高温超電導薄膜の組成制御
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概要
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The composition of Y-Ba-Cu-O thin films deposited by RF diode sputtering was examined by EPMA (Electron Probe Micro Analysis). The composition of Y-Ba-Cu-O thin films with a target made by the solid state reaction method changed with sputtering time even if the films were deposited under identical conditions. In contrast, the composition of films with a target made by the co-precipitation method were unaffected by sputtering time when they were deposited under identical conditions. Good control of the composition of Y-Ba-Cu-O thin films was achieved by optimizing both the RF input power density and the partial pressure of oxygen.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
著者
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長谷 隆司
株式会社 神戸製鋼所 技術開発本部 電子技術研究所
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長谷 隆司
神戸製鋼
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長谷 隆司
神鋼
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長谷 隆司
(株)神戸製鋼所技術開発本部
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川手 剛雄
(株)神戸製鋼所技術開発本部
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梶川 弘
(株)神戸製鋼所電子技術研究所
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川手 剛雄
(株)神戸製鋼所
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西村 耕造
(株)神戸製鋼所
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奥田 正彦
(株)神戸製鋼所
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長谷 隆司
(株)神戸製鋼所
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梶川 弘
(株)神戸製鋼所
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