ppbに挑戦する螢光X線分析

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概要

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• Trace element determination by energy dispersive X-ray fluorescence analysis using synchrotron radiation is reported. Effects of excitation modes such as continuous or monochromatic excitation on the minimum detection limits are summarized. Trace element analysis in solution and the depth profiling of impurities in semiconductors are achieved by means of total reflection of X-rays. The minimum detection limits obtained are of the order of ppb or less than 0.1 pg. Applications to environmental and biomedical samples are also reported.

• 日本結晶学会の論文

著者

• 飯田 厚夫

  東京大学工学部工業化学科

• 飯田 厚夫

  東大 工

• 飯田 厚夫

  東京大学・工学部

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