8.X線多結晶回折法による薄膜の解析

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概要

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• The application of the X-ray powder diffraction technique for the characterization of thin films is descussed. The conventional powder diffraction method can be used for the microstructure analysis, and the specular reflection method for the layer-structure analysis of thin films. Results on the characterization of selected single- and multiple-layer thin films are presented to illustrate the types of information that can be obtained with the methods.

• 日本結晶学会の論文

著者

• 虎谷 秀穂

  (株)リガクx線研究所

• HUANG Ting

  IBMアルマデン研究センター

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