シリコン加速度センサの開発の流れ

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概要

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• 社団法人 電気学会の論文

著者

• 鈴木 健一郎

  NECマイクロエレクトロニクス研究所LSI基礎研究部

• 谷川 紘

  NEC生産技術企画室

• 鈴木 健一郎

  NECマイクロエレクトロニクス研究所

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