薬液用金属除去モジュール（メトレート®）の開発と実用化
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概要
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シリコンウェーハ製造時の加工変質を除去するアルカリエッチング工程では，48 wt% 水酸化ナトリウムや 48 wt% 水酸化カリウムといった高濃度アルカリ水溶液が用いられている。その高濃度アルカリ水溶液中に含まれる金属不純物であるニッケルや銅が，シリコンウェーハに特に悪影響を及ぼすため，それらを極めて低いレベルまで低減する必要がある。筆者らは放射線グラフト重合法を用いて，高密度ポリエチレン不織布にアミン系の特殊官能基を導入した機能性不織布を作製し，その機能性不織布をカートリッジフィルター型に加工した金属除去モジュール「メトレート®」を開発した。メトレート®を 48 wt% 水酸化ナトリウム水溶液や 48 wt% 水酸化カリウム水溶液中からのニッケル及び銅の除去に適用したところ，メトレート®モジュール内に各高濃度アルカリ水溶液を通液するだけで数十 μg kg−1(ppb) レベル含まれるニッケルや銅を 1 ppb 以下の低いレベルまで低減することに成功した。
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