真空度検知機能を有する赤外線イメージセンサ

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概要

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• We propose a new detecting method of vacuum pressure utilizing reference cells with the similar structure as pixels in the IR(infrared radiation) image sensor of which the sensitivity is greatly depended on the vacuum pressure in the sensor package. This method showed the excellent correlation between the vacuum pressure and output voltage without any additional pirani gauge requiring readout circuit which is generally utilized to detect the vacuum pressure. The proposed method is understood to realize the detection of the package vacuum pressure with detecting infrared radiation as an IR image sensor.

著者

• 舟木 英之

  （株）東芝　研究開発センター

• 石井 浩一

  （株）東芝 研究開発センター

• 八木 均

  （株）東芝 研究開発センター

• 藤原 郁夫

  （株）東芝 研究開発センター

• 鈴木 和拓

  （株）東芝 研究開発センター

• 本多 浩大

  （株）東芝 研究開発センター

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