FDMS用シリコンエミッター製造装置
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概要
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In this paper we describe an equipment to produce a number of emitters in a short time. The construction, electric circuit, vacuum system, used materials and notable points for manufacture are discribed in detail. Normally 48 emitters are produced at one time. Electron microphotographs of emitters taken under different conditions are compared and those after sample loading and ion emission are shown.
著者
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交久瀬 五雄
大阪大学理学部宇宙地球科学科地球物性学講座
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松尾 武清
大阪大学教養部
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松田 久
大阪大学教養部
-
呉 志儒
大阪大学教養部物理学教室
-
松尾 武清
大阪大学教養部物理学教室
-
交久瀬 五雄
大阪大学理学部物理教室
-
交久瀬 五雄
大阪大学理学部字宙・地球科学科
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