研究解説 : 層流型クリーンルーム内気流のレーザーライトシートによる可視化 : 生産機器廻りの気流を中心として
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概要
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生産機器を設置した全面層流クリーンルームについて模型実験を行い、室内気流をレーザーライトシートを用いた炭酸マグネシウム微粉末トレーサーの散乱光により可視化する。生産機器の配置状態を系統的に変化させ機器廻りの微細な気流性状を解析する。これにより層流型クリーンルームでの内部発塵による汚染防止対策のための基礎となる設計資料を得る
- 1985-03-01
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