軟質粒子によるメカノケミカル・ポリシング (生産・加工システムの最適化<特集>)
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概要
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特集 生産・加工システムの最適化加工物より軟質でかつ加工物材料との化学反応性に青む粒子を用いる新しい方式のポリシング法について解税する。本加工法は、粒子と加工物との接触点で生ずる固相反応を利用するもので、加工変質層のきわめて小さい高精度鏡面が得られるという長所をもつ。その加工原理と特徴を紹介したこち、サファイヤを主な対象として材料除去機構を述べ、Si単結晶および水晶への適用についてもふれる
- 東京大学生産技術研究所,Institute of Industrial Science, the University of Tokyo,東京大学生産技術研究所第2部 精密工作学,工業技術院電子技術総合研究所の論文
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