表面プラズモン検出器-MOSFET集積回路における静的および動的特性(光-無線融合NW、新周波数(波長)帯デバイス、フォトニックNW・デバイス、フォトニック結晶、ファイバとその応用、光集積回路、光導波路素子、光スイッチング、導波路解析、一般)

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概要

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情報処理システムの更なる高速・大容量化の実現に向けて、集積回路内における光インターコネクトに関する研究が活発に行われている。特に、表面プラズモンを用いたインターコネクトは、光の回折限界以下の領域での光信号の送受を可能とするため注目を集めている。我々は、その基幹素子の一つとしてショットキー型の表面プラズモン検出器を開発し、シリコンに吸収されないエネルギー帯での動作を示してきた。本研究では、この表面プラズモン検出器と金属-酸化膜-半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)とのモノリシック集積回路を作製し、表面プラズモン信号によるトランジスタの直流および交流動作を確認したので報告する。
一般社団法人電子情報通信学会の論文
2014-01-16

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