1a-CM-12 スパッタ法によるMoAl多層膜の作製とその構造解析(金属)

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 1986-03-29

著者

• 山本 良一

  東大工

• 堂山 昌男

  東大工

• 今福 宗行

  東大工

• 川瀬 健夫

  諏訪精工舎

• 泉谷 敏英

  東大工

• 国府 力

  東大工

• 花牟礼 透

  東大工

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