2a-UA-3 マルチターゲットスパッタリング法により作製したMo/Al多層薄膜の構造

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1985-09-13

著者

• 山本 良一

  東大先端研

• 山本 良一

  東大工

• 堂山 昌男

  東大工

• 堂山 昌男

  帝京科大

• 今福 宗行

  新日鉄

• 今福 宗行

  東大工

• 川瀬 健夫

  諏訪精工舎

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