E-64 半導体工場における外気加熱加湿負荷を冷却効果として適用する手法の開発
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概要
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In a clean room of such as electronics devices, it normally requires a year-round cooling operation of an air-conditioner. On the other hand, it consumes huge heating energy with fossil fuel for heating and humidifying outdoor air in wintertime. We have developed a new outdoor air treatment configuration, combined with "18 deg. C. cold water return" from dry coil in the clean room and "vaporizing type humidifier". This report clarifies the method and the energy saving amount. In this system, a cooling load generated in a room can directly be a heating source for heat/humidification load of outdoor air, as well as the thermal energy decreases a chiller load.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2005-07-25
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