25pPSB-48 化学活性種を原料とした量子機能デバイス用薄膜の成膜プロセスの反応設計(25pPSB 表面界面・結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長分野))

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概要

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• 一般社団法人日本物理学会の論文
• 2002-03-01

著者

• 前田 聡史

  金沢工大高度材料研

• 清水 豊弘

  金沢工大高度材料研

• 金山 拓夫

  金沢工大高度材料科学r&dセ

• 林 啓治

  金沢工大高度材料科学R&Dセ

• 巣之内 省

  金沢工大高度材料科学R&Dセ

• 清水 豊弘

  金沢工大高度材料科学R&Dセ

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