巣之内 省 | 金沢工大高度材料科学R&Dセ
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概要
関連著者
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清水 豊弘
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清水 豊弘
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著作論文
- 17pTF-3 PDECB法による成膜用中性フリーラジカルビーム生成の反応設計
- 25pPSB-48 化学活性種を原料とした量子機能デバイス用薄膜の成膜プロセスの反応設計(25pPSB 表面界面・結晶成長,領域9(表面・界面,結晶成長分野))