F-51 拡散シミュレーションに基づく汚染源個所推定法
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概要
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A searching method for contaminant source locations was developed. In this method, an exact distribution of contaminant concentration in cleanroom is considered as the weighted mean of the influences from single contaminant sources. The weighting function of each contaminant source is analyzed as a kind of linear reverse-problem. Result of this method indicates the contribution rate of each contaminant source, and it is possible to improve the cleanliness level according to this result.
- 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
- 2004-08-20
著者
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