C-1 天井給排気型クリーンルーム内の気流性状に関する研究(その4) : 模型実験による汚染質拡散性状の検討

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概要

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• 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
• 1987-10-06

著者

• 加藤 信介

  東京大学生産技術研究所

• 村上 周三

  東京大学生産技術研究所

• 田中 幸彦

  東大

• 田中 幸彦

  東大:フジタ工業(株)

• 佐藤 昌之

  東京大学

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