D-35 天井給排気型クリーンルーム内の気流性状に関する研究(その3) : 給排気を局所的に対応させた場合の汚染質拡散性状

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概要

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• 社団法人空気調和・衛生工学会の論文
• 1986-10-02

著者

• 加藤 信介

  東京大学生産技術研究所

• 村上 周三

  東京大学生産技術研究所

• 永野 紳一郎

  東大生研

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