局所領域における静電気の制御に関する研究 : 静電気力顕微鏡を用いた帯電の観測(バイオ,エレクトロニクス,材料,界面,その場観察,その他一般)
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概要
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静電気は生産プロセスにおいてコンタミネーションや静電気放電など様々な問題の原因となっており,特に微小スケールにおいてその影響は大きくなる.このような帯電現象はすべての材料において発生するため,その制御は極めて重要である.本研究では,μmオーダーの局所領域で,接触,剥離,電子ビームを用いた静電気制御の試みについて報告する.
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-02-26
著者
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