219103 MEMSカロリメータを用いた同時熱質量分析(OS10 熱流体計測の新展開1,オーガナイズド・セッション)
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概要
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Simultaneous measurements of micro thermal analysis and mass measurement were demonstrated with a cantilever type MEMS calorimeter. The fabricated cantilever type MEMS calorimeter having low heat capacity and high thermal resistance can conduct nano-gram level thermal analysis with high speed temperature scan. Furthermore, mass of the order of nano-gram is available using the mechanical resonance of the cantilever. Dehydration process of sub-micro-gram CuSO_4・5H_2O was simultaneously analyzed in a SEM, stepwise mass reduction and corresponding endothermic peaks were observed. Sublimation process of tiny Menthol was also analyzed in the air. In an intermittent series temperature scan, stepwise mass reductions of nano-gram order and sublimation heat peaks in the DTA curve were observed.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-03-17
著者
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