高温燃焼グラファイト電界放出源を用いた高電圧X線管(電子管と真空ナノエレクトロニクス及びその評価技術)
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概要
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高温燃焼グラファイト電界放出源(Graphite field emitter inflamed at high temperature:GFEIHT)を用いた、高電圧駆動のX線管を開発した。GFEIHTは、高純度グラファイト棒(99.9%)を水素-酸素混合炎(混合比2:1)中に曝露することにより作製される。その表面には、ナノサイズの突起が無数に存在している。GFEIHT陰極の電気特性を、ベリリウムX線窓を有する硝子製の陽極管(内圧10^<-8>Pa台)にて評価したところ、陰極-陽極間電圧30kV時において500μA以上の電流を得た。この陽極管を10^<-7>Pa以下で封止し,X線管を作製した.このX線管の陽極電流を500μAと一定にしたときの陽極電圧(30kV)の変動率(標準偏差/平均値)をX線管の安定度として定義し,これを求めることにより評価したところ、40時間以上の変動率は0.72%であった.
- 2012-11-12
著者
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三村 秀典
静岡大学
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中村 智宣
株式会社鬼塚硝子
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定塚 淳生
株式会社鬼塚硝子
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小池 高寿
株式会社鬼塚硝子
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鬼塚 好弘
株式会社鬼塚硝子
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岩井 勇輔
株式会社鬼塚硝子
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羽山 洋平
株式会社鬼塚硝子
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岩井 勇輔
株式会社鬼塚硝子:静岡大学
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