厚み振動水晶共振子の特性に及ぼす電極の影響(<特集>周波数発生・制御デバイスの新展開論文)
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概要
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水晶共振子の高周波化に伴い,電極を単なる質量付加ではなく,内部の弾性波伝搬を考慮する必要が生じてきた.先に報告した一般的等価回路に基づき,電極による共振周波数低下,損失増加,周波数温度特性の変化を解析し,単純回転のAT板,2重回転のSC板の実験とよい一致を得た.この結果は膜の材料定数の測定にも有効である.
- 2013-06-01
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