20pPSA-27 不純物を含んだエピタキシャル表面での核生成(20pPSA 領域9 ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長)

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概要

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• 2012-08-24

著者

• 勝野 弘康

  学習院大計セ

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