26pPSB-7 Siウェハー上の薄膜界面領域観察を目指した断面STMシステムの開発(26pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))

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概要

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• 2012-03-05

著者

• 大門 寛

  奈良先端大

• 上田 一之

  奈良先端大・物質創成

• 服部 賢

  奈良先端大

• 立花 和也

  奈良先端大・物質創成

• 立花 和也

  奈良先端大物質創成

• 太田 啓介

  奈良先端大物質創成

• 太田 啓介

  奈良先端大・物質創成

• 太田 啓介

  奈良先端大

• 上田 一之

  奈良先端大物質創成

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