21pGE-2 50pm分解能STEMによる原子欠陥の個別識別 : ドーパント(21pGE 領域10,領域4合同シンポジウム:格子欠陥・ナノ構造の3次元実空間解析,領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))

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